Советская промышленность: Воронежский НИИМП

Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения (НИИПМ) был создан на основании Постановления ЦК КПСС и Совета Министров СССР № 78-27 от 24.01.61 г. со специализацией в области научно-исследовательских и опытно-конструкторских разработок по созданию механизированных линий и отдельных видов технологического и испытательного оборудования для производства полупроводниковых приборов и интегральных схем.

Дальнейшие задачи института были уточнены решением ГКЭТ № 337 от 25.05.64 г. Этим решением на НИИПМ возлагались дополнительно задачи по координации деятельности ОКБ по спецмашиностроению. Определены были также профилирующие направления работ института:

• разработка и изготовление комплексных и поточно-механизированных линий для массового производства перспективных типов полупроводниковых приборов;
• разработка и изготовление оборудования для получения технологических сред, механической и технологической обработки пластин, кристаллов и переходов, автоматизации сборочных испытательных и измерительных операций;
• ведение информационных работ по обмену опытом и подготовки обзоров о состоянии работ по полупроводниковому машиностроению в СССР и за рубежом.

Строительство предприятия на отведенной промышленной площадке было начато в 1962 году, а в 1967 г. был построен и сдан в эксплуатацию корпус № 1 (НИИ).

К концу первого десятилетия институт полностью освоил проектные мощности и перекрыл их. Достиг своей проектной мощности и опытный завод, созданный в 1965 году.

С каждым годом рос объем выпуска продукции по документации НИИ, увеличивался объем научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ.

Если первыми разработками было простейшее оборудование типа монтажных столов, скафандров, однопараметровых измерителей, галтовочного барабана, то к 1971-1972 гг. это уже комплекты, линии и сложнейшее автоматическое оборудование, управляемое с помощью электронно-вычислительных машин:

• Комплексно-механизированная линия по теме «Микрон» для производства кремниевых транзисторов типа 2Т301-2Т305 производительностью до 3 млн. годных приборов в год. На этой линии впервые в отечественной промышленности была применена групповая технология изготовления приборов, что в дальнейшем позволило в производственных условиях легко перейти от меза-технологии к планарной;
• Комплексно-механизированная линия по теме «Код» и «Код-1» для выпуска диодных матриц типа А247 – А249 в пластмассовом корпусе. На этой линии впервые в отечественной практике был применен метод сборки и герметизации приборов пластмассой на отрезках ленты;
• Комплекты оборудования для производства диодов типа Д9, где применение кассетного метода обработки изделий позволило исключить ручной труд;
• Комплекты оборудования для выпуска планарных транзисторов, разработанных по теме «Корунд-Т». Это оборудование явилось технической основой для перевооружения предприятий отрасли по выпуску планарных приборов, в частности позволило создать многономенклатурное производство планарных транзисторов на головном заводе объединения «Электроника»;
• Сборочное оборудование: установки термокомпрессионной приварки выводов, ультразвуковой напайки кристаллов и присоединения выводов, прессы холодной сварки, установки герметизации приборов пластмассой и др.;
• Оборудование для получения исходных пластин, в т. ч. с использованием инструмента со связанными алмазами и химико-механической полировкой пластин (станки типа САШ, СДШ и СХМП);
• Различные измерительные и испытательные установки. Впервые в СССР создан универсальный тестер УТ-1 для измерения параметров диодов и транзисторов, управляемый ЭВМ;
• Оборудование для неразрушающего контроля толщины диэлектрических пленок на пластинах: эллипсометр и интерферометр.

Оборудование для получения деионизованной воды типа УФ, УРР

С годами повышалась квалификация специалистов, оборудование становилось все более совершенным и необходимым для полупроводниковой отрасли. Количество научных работников со степенью кандидата наук возросло до 17 человек. За большой вклад в дело создания высокопроизводительного оборудования для полупроводникового производства около 40 ИТР и рабочих награждены правительственными орденами и медалями, в том числе орденом Трудового Красного Знамени – 5 человек, орденом «Знак Почета» – 6 человек, орденом Трудовой Славы III степени – 8 человек. Специалистам НИИПМ дважды присуждалась премия Совета Министров СССР.

Переломным моментом в деятельности института явился 1970 г. – год создания НПО «Электроника» и включения НИИ в состав объединения. Были объединены усилия разработчиков приборов, технологий и оборудования, а производство получило возможность внедрять вновь созданное прогрессивное оборудование непосредственно в цехах, на участках.

К 1974 году в НИИПМ велись разработки по следующим направлениям:

• оборудование для обработки исходных пластин;
• оборудование для фотолитографии;
• оборудование для термических процессов;
• оборудование для очистки технологических сред;
• оборудование для сборки, в т.ч. для производства ИС на полиимидной ленте;
• оборудование для производства ИС в технологических спутниках-носителях;
• технические средства сбора и обработки информации;
• контрольно-измерительное оборудование;
• контрольно-испытательное оборудование;
• разработка и серийный выпуск видеомагнитофонов;
• элементная база для спецтехнологического оборудования.

В 1975 году появилась первая полностью автоматическая линия фотолитографии с оригинальным процессом сушки фоторезиста. В 1975 - 1976 годах создана установка газового травления УГТ - 100, американский аналог которой появился спустя 8 лет.

Больших успехов добился институт в 1975-1985 гг. – годы освоения промышленностью производства изделий на пластинах диаметром 100 мм. За это время было создано более 300 наименований нового прогрессивного оборудования, большинство из которого были переданы для серийного изготовления не только на специализированных заводах Министерства, но и в других отраслях. Технический уровень разработок соответствовал или превышал лучшие зарубежные аналоги, что подтверждалось получением авторских свидетельств на отдельные узлы или машины в целом. По чертежам предприятия было изготовлено и внедрено на предприятиях отрасли, в т.ч. на таких как «Интеграл», «Ангстрем», ВЗПП, «Элма», более 35 тыс. единиц оборудования, от внедрения которого получен подтвержденный потребителями значительный экономический эффект.

С 1993 г. открытое акционерное общество «НИИПМ»

В марте 2007 года в соответствии с Законом Воронежской области №43 от 05.06.2006 года «О технопарках в Воронежской области», определяющий порядок и условия присвоения статуса технопарка и правовые основы государственной (областной) поддержки технопарков в Воронежской области был первым в г. Воронеже зарегистрирован технопарк «Содружество», базовым предприятием которого является ОАО «Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения».

Взято с официального сайта НИИМП